Poliimid i fotorezistyczny system rozpylania ultradźwiękowego

Udowodniono, że ultradźwiękowe systemy rozpylania są odpowiednie do różnych zastosowań, które wymagają jednolitych i powtarzalnych powłok filmowych lub poliimidowych. Kontrolując grubość od submikronu do ponad 100 mikronów i możliwość pokrycia dowolnego kształtu lub rozmiaru, systemy powlekania są realną alternatywą dla innych technik powlekania, takich jak obrotowe i tradycyjne opryskiwanie.

Powszechne zastosowania powłok poliimidowych i fotorezystów obejmują między innymi MEMS, soczewki, urządzenia mikroprzepływowe, mikroelektronikę i filtry. Systemy powlekania są zdolne do powlekania płaskich i 3D, zazwyczaj, w tym chipsów krzemowych, szkła, ceramiki i metali.

Spryskanie ultradźwiękowe jest prostym, ekonomicznym i powtarzalnym procesem dla powlekania fotorezystów i poliimidów. System powłoki ultradźwiękowej może dokładnie kontrolować prędkość przepływu, prędkość powłoki i ilość osadzania przy użyciu prostych technik nakładania warstw. Listwa o niskiej prędkości sprayu definiuje rozpylony rozprysk jako dokładny i kontrolowany wzór, aby uniknąć nadmiernego szablonu i wytwarzać bardzo cienkie i jednolite warstwy.

Zalety ultradźwiękowych powłok poliimidowych i fotorezystów:

1. Jednolite pokrycie warstwowe różnych konturów powierzchniowych.
2. Wysoka elastyczność właściwości chemicznych i powlekania.
3. Nieprzestrzegający spray atomizujący.
4. Wysoka wydajność transmisji przy minimalnych odpadach.
5. wysoce powtarzalny dojrzały proces opryskiwania.

Ultradźwiękowy system rozpylania wykorzystuje wibracje dźwiękowe o wysokiej częstotliwości do generowania miękkiej mgły złożonej z matematycznie zdefiniowanych kropel. Blokada jest eliminowana, ponieważ do generowania sprayu nie stosuje się ciśnienia, a kropelki mają bardzo wąski rozkład kropel, co dodatkowo przyczynia się do jednolitości warstwy osadzania.