Ultradźwiękowy system rozpylania atomizacji służy do integracji z komorą próżniową. Poprzez eksperymenty udowodniono, że unikalny projekt systemu rozpylania ultradźwiękowego rozpylania można zintegrować z próżniową platformą, odpowiednią do zastosowań, takich jak osadzanie pary polimerowej (PVD) i metalowe organiczne osadzanie pary chemicznej (MOCVD). Charakterystyczna o niskiej prędkości atomizacja generowana przez system rozpylania atomizacji ultradźwiękowej może wytwarzać chmurę pary z ciasnym rozkładem kropelek i wielkością kropli kontrolowanej częstotliwości. Ze względu na fakt, że ultradźwiękowe dysze atomizujące działają poprzez przekształcenie fal dźwiękowych o wysokiej częstotliwości w wibracje mechaniczne, ciecz w kontakcie z powierzchnią dyszy jest rozpylona bez dodawania powietrza lub gazu, więc integralność komory próżniowej nie jest osłabiona podczas procesu opryskiwania.
Technologia generatora ultradźwiękowego zintegrowana z ultradźwiękowym systemem rozpylania atomizacji zapewnia niezbędną energię elektryczną do atomizacji i jest wyposażona w zaawansowaną funkcję równoważenia obciążenia, która może automatycznie dostosować się do dostosowania się do różnych warunków próżniowych, utrzymując w ten sposób najbardziej stabilne charakterystyki opryskiwania podczas procesu osadzania próżniowego.
Ultradźwiękowy system rozpylania atomizacji jest odpowiedni do środowisk próżniowych o wysokiej temperaturze i ma funkcję chłodzenia i monitorowania temperatury, aby zapewnić odpowiednią ochronę cieplną.
Zalety zastosowania komory próżniowej:
- Urządzenia elektroniczne zaprojektowane do równoważenia obciążenia
- Ochrona i monitorowanie wysokiej temperatury
- Unikalny projekt ograniczenia przepływu cieczy
- Atomizacja jest generowana przy braku powietrza/gazu, utrzymując integralność próżniową
